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等离子体表面处理仪的特色介绍

更新时间:2022-09-22      点击次数:2465
等离子体表面处理仪可用于消除固体表面的有机污染物,如:金属、陶瓷、玻璃、硅片等等,同时也可以对样品表面进行处理,改善样品表面的特性,如亲水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等。  
核心特色:  
(1)运用电容耦合电极规划(USPatent.4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511),低失真、高效能率的特性,确保了样品室内等离子体分布的均一性;  
(2)运用自动调频高频发生器,确保了等离子体发生的稳固性和有效性;  
(3)运用高精度的流速控制和压力控制部件,确保了气体的高重现性混合和分布;  
(4)运用软件控制,确保控制的方便有效和实时监控;  
(5)一体化的高真空系统,确保了操作的方便性和稳固性;  
(6)多种样品室可供选用,如耐热玻璃和石英等,更能契合众多用户的诉求多;  
(7)体积小,可远程操作,多种安全保护,确保操作的安全和方便;  
(8)样品室和功率规划合理,可契合绝大部分科研需要;  
(9)全自动操作,方便可靠。
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